紫外光負(fù)膠的顯影液和清洗液的成分是什？
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半導(dǎo)體工藝——光刻紫外負(fù)性光刻膠顯影液：二甲苯。清洗液：乙酸丁脂或乙醇、三氯乙烯。顯影中的常見(jiàn)問(wèn)題：a、顯影不完全（Incomplete Development）。表面還殘留有光刻膠。由顯影液不足造成。b、顯影不夠（Under Development）。顯影的側(cè)壁不垂直。由顯影時(shí)間不足造成。c、過(guò)度顯影（Over Development）?？拷砻娴墓饪棠z被顯影液過(guò)度溶解，形成臺(tái)階。由顯影時(shí)間太長(zhǎng)造成。
