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顯影液的用途和參數(shù)問題——蘇州深硅刻蝕

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在半導(dǎo)體行業(yè),會(huì)用到一種叫做顯影液的液體。顯影液指的是洗相片時(shí)適用的化學(xué)藥劑,次要成分有硫酸、硝酸及苯、甲醇、鹵化銀、硼酸、對(duì)苯二酚等。有毒,不成間接接觸肌膚,會(huì)嚴(yán)峻侵蝕。

顯影液的次要成分是硫酸、硝酸及苯、甲醇、鹵化銀、硼酸、對(duì)苯二酚等,不只能夠用在半導(dǎo)體范疇還有其他的用處。

次要用處:

銀鹽膠片顯影用的藥液稱顯影液。

用于黑白膠片顯影的顯影液稱黑白顯影液,用于彩色膠片顯影的稱彩色顯影液。

顯影液的次要成分是顯影劑。為了完美性能,凡是還加一些其他成分,諸如促進(jìn)顯影的促進(jìn)劑,避免顯影劑氧化的庇護(hù)劑,防灰霧生成的灰霧按捺劑和防灰霧劑等。

通過對(duì)各組分差別用量的調(diào)配能夠得到差別性能的顯影液,如微粒顯影液、高反差顯影液等。

工業(yè)上說的顯影劑,是針對(duì)半導(dǎo)體晶片而言。系列有顯影劑、光刻膠等。

顯影液

參數(shù)問題:

顯影液的濃度是指顯影劑的相對(duì)含量,即NaOH、Na2SiO*總含量。市場(chǎng)上銷售的顯影液多是濃縮型液體,利用時(shí)需要按比例稀釋,顯影液的濃度多以顯影液的稀釋比來暗示。在其他前提穩(wěn)定的前提下,顯影速度與顯影液濃度成反比關(guān)系,即顯影液濃度越大,顯影速度越快。 當(dāng)溫度22℃,顯影時(shí)間為*0秒時(shí),PD型顯影液濃度對(duì)PS版性能的影響見表*(略)。從表中數(shù)據(jù)可看出,以*級(jí)清潔為準(zhǔn)的曝光量,PD型顯影液濃度以*∶*為更佳。 當(dāng)顯影液濃渡過大時(shí),往往因顯影速渡過快而使顯影操做不容易控造;出格是它對(duì)圖文根底的侵蝕性加強(qiáng),容易形成 網(wǎng)點(diǎn) 縮小、殘損、亮調(diào)小網(wǎng)點(diǎn)喪失及減薄涂層,從而形成耐印力下降等弊端;同時(shí)空白部位的氧化膜和封孔層也會(huì)遭到侵蝕和毀壞,版面呈現(xiàn)發(fā)白現(xiàn)象,使印版的親水性和耐磨性變差。顯影液濃度大,還易有結(jié)晶析出。 當(dāng)顯影液的濃度偏低時(shí),堿性弱,顯影速度慢,易呈現(xiàn)顯影不凈、版面起臟、暗調(diào)小白點(diǎn)糊死等現(xiàn)象。

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